Others Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정

2017.12.28 13:11

플라즈마엣칭 조회 수:381

V△p = -Sp△t ----(1) 이것을 초기조건 (시각0 의 기체 압력) p=p0 에서 풀면
p = p0exp(-st/V) ----(2) 를 얻는다

여기에서 1번식이 2번식으로 넘ㅇㅓ 가는 과정을 설명해 주시면 정말감사하겠습니다ㅠ

출처: https://m.blog.naver.com/kongtori/220800339950

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] 79600
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21344
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58134
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69704
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94611
280 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 68
279 Druyvesteyn Distribution 123
278 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 184
277 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스] [1] 188
276 Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터] [1] 199
275 corona model에 대한 질문입니다. [준중성과 저압플라즈마] [1] 206
274 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [에너지 균형과 입자 균형식] [1] 208
273 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [RF Power] [1] 212
272 플라즈마 사이즈 측정 방법 [플라즈마 분포 측정 및 산포 평가] [1] 214
271 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [Sheath energy] [1] 220
270 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [대기압 플라즈마, highly collisional plasma] [1] 226
269 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해] [2] 229
268 RF플라즈마에서 quasineutral에 대해 궁금한게 있어 질문글 올립니다.[quasineutral] [1] file 230
267 Microwave & RF Plasma [플라즈마 주파수와 rate constant] [1] 270
266 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [대기압 환경 플라즈마와 라디컬 분포] [1] 273
265 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [초고밀도 플라즈마] [1] file 278
264 ICP/CCP 플라즈마 식각 공정 개발 [Plasma sheath 및 Plasma generation] [1] 293
263 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [Rise rate] [1] 361
262 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [장비 분해 리빌트 및 테스트] [1] 372
261 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath] [1] 375
쓰기
태그

Boards

XE Login