Plasma in general Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요?
2018.12.26 15:02
PLASMA SPACING은 고정한채 Frequency만 조절하여 플라즈마 세로 영역을 확장할 수 있을까요?
Frequecny가 low일수록 이온의 움직일 수 있는 시간이 늘어 이온이 아래위로 더 움직일 수 있을거 같은데
이를 증명할 수 있는 방법이나, 이 사실에 대해 아시는 분 답변 부탁드립니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [234] | 75739 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19424 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56651 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 67973 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 90165 |
| 46 | self bias [1] | 19349 |
| 45 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19439 |
| 44 | cross section 질문 [1] | 19572 |
| 43 | smsith chart 공식 유도하는 방법? | 19630 |
| 42 | 플라즈마 진동수와 전자온도 | 19908 |
| 41 | CCP의 Vp가 ICP의 Vp보다 높은 이유 | 19950 |
| 40 | 형광등과 플라즈마 | 20196 |
| 39 | 확산펌프 | 20457 |
| 38 | Three body collision process | 20590 |
| 37 | 이온주입량에 대한 문의 | 20671 |
| 36 | 교재구입 | 20703 |
| 35 | RF plasma에 대해서 질문드립니다. [2] | 20842 |
| 34 | 플라즈마란? | 21017 |
| 33 | Breakdown에 대해 | 21252 |
| 32 | CCP 에서 Area effect(면적) ? | 21284 |
| 31 | 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] | 21284 |
| 30 | 플라즈마 실험 | 21324 |
| 29 | remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [1] | 21377 |
| 28 | manetically enhanced plasmas | 21629 |
게시판의 plasma in general 항목에서 그 이유를 찾을 수 있지 않을까 합니다. 확인해 보세요. 참고로, plasma heating은 electron을 표면 반응은 ion을 활용합니다. 또한 각각의 열운동 특성이 다름으로 thermal velocity가 다르며, 이에 따라서 rf 시간동안 반응할 수 있는 거리를 추론해 볼 수가 있고, 이 기반으로 전극 gap 사이에서 플라즈마의 입자들이 얼마나 움직일 수 있는가를 따져 볼 수가 있겠습니다.