Others 형광등에서 일어나는 물리적인 현상

2004.06.19 17:02

관리자 조회 수:18525 추천:265

저도 형광등에서 일어나는 물리적인 형상에 관해서 경험이 없기 때문에 전반적인 설명은 방명록 번호 97, 98번에 나와있는 것을 참고하시기 바랍니다.
참고로 뚱단지님의 형광등에 대한 설명에서 제가 몇가지를 수정/보완 할까 합니다.

1. "Ion의 Implantation에 의해 검게 코팅이 되는 효과가 나타난다"고 하셨는데 제 생각에는 Film Coating이라고 생각됩니다. Implantation은 높은 에너지의 이온을 필요로 하지요.

2. "이 대 주파수를 주는 것은 이온이 충분히 반응할 수 있을 만큼 줌으로써 Self Bias현상은 나타나지 않게 한다."이라 했는데 이온의 운동을 무시할 정도의 주파수는 플라즈마 조건에 따라 틀리지만 최소 수백 kHz 이상이 되어야만 한다고 새악ㄱ합니다. 인버터에서 그 정도의 주파수를 만드는지는 모르겠습니다. 그리고 Self Bias현상은 잘 애해가 되지 않는군요. 방명록의 이전 Q&A를 찾아보면 성명이 나오니가 참고하십시요.

3. "이온이 형광램프의 벽을 치기 전에 극성이 바뀌어 이온과 벽과의 충돌횟수가 줄어들어 검게 변하는 현상이 줄어든다." 앞서 설명한 것처럼 수백 kHz 이상이 되지 않으면 이온과 벽과의 충돌횟수가 줄어드는 효과를 볼 수 없습니다.

4. RF 플라즈마의 전위는 입력전력에 따라 변할 수 있습니다. 그리고 플라즈마의 on/off 현상은 대체로 주파수가 100kHz 이하에서는 플라즈마가 on/off 된다고 합니다. 그러나 100kHz는 절대값이 아니고 Chamber의 크기 Discharge의 종류에 따라 달라질 수 있습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76685
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57159
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68680
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92210
233 self bias [1] 526
232 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 549
231 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 550
230 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 558
229 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 574
228 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 587
227 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 589
226 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 592
225 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 596
224 plasma 공정 중 색변화 [1] 598
223 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 627
222 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 663
221 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 679
220 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 684
219 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 692
218 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 706
217 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 709
216 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 734
215 교수님 질문이 있습니다. [1] 740
214 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 754

Boards


XE Login