안녕하세요

혼자 해결하려고 몇달을 고민하고 도전하다가, 비전공자의 한계를 극복하지 못하고 글 남깁니다..


고전압 진공관 관련해서 실험을 하고 있는 직장인입니다.


고전압 진공관을 작동할 때에, 진공관은 대기중(질소로 퍼징하지 않고)에서 펌프로 대략 10e-5 이상으로 진공을 유지하고 있습니다.

제가 알고 있는 지식선에서는 진공관에서 고전압을 인가 할 경우에는 어떠한 현상도 발생하지 않아야 합니다.


그런데, 고전압을 인가해주면 글로우 방전과 비슷하게 보라색과 분홍색이 섞인듯한 빛을 띄는 에너지 파?(글로 방전 예상)가 이동하는 것을 확인하였습니다. 그 이후 조금 더 높은 전압을 인가했을 때에는 에너지 파?가 아닌 단순히 형광등 처럼 빛(플라즈마 예상)이 나기만 했습니다.

이럴 경우에 진공이 안좋아서 전리 여기현상으로 글로방전 또는 플라즈마가 발생하는 것으로 예상됩니다.


하지만, 진공의 문제가 아니라 다른 문제가 있다고 판단하여 좀더 높은 전압을 인가하였을 때, 아크가 발생하면 빛이 사라지는 경우를 확인했습니다. 

이런 경우가 될 경우에는 빛이 발생하는 현상은 진공과 관계가 없다고 판단되고, 진공관 내 어떠한 표면이 불안정하여 플라즈마 현상의 원인이 되는 것으로 판단됩니다.. 


그러나, 그 진공관에서 전극 사이에 가장 가까운 거리를 가지는 것은 절연체 밖에 없습니다..

 

여기서 질문을 드리고자 하는 것은 아래와 같습니다.


1. 진공관에서 글로방전 또는 플라즈마가 발생하는 것을 진공만의 문제일 수 있을까요?

2. 진공관의 절연부분이 글로방전 또는 플라즈마 발생의 원인이 될 수 있을까요?

3. 진공관 내 이물질 흡착으로 인하여 고전압 인가 시에 글로방전 또는 플라즈마 발생하는 것의 원인이 될 수 있을까요?

4. 진공관 내 절연거리가 부족하여 글로방전 또는 플라즈마 발생의 원인이 될 수 있을까요?


제가 더 필요하게 알아봐야 할 부분이 있는 것으로 보이시면 논문이나 서적 추천 부탁드립니다..


글 읽어주셔서 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5808
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17215
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53071
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64485
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85100
185 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 810
184 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 841
183 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 852
182 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 861
181 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 867
180 wafer bias [1] 872
179 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 890
178 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 926
177 RF 전압과 압력의 영향? [1] 932
176 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 959
175 플라즈마 코팅 [1] 966
174 Group Delay 문의드립니다. [1] 976
» glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 993
172 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1002
171 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1016
170 자기 거울에 관하여 1037
169 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1066
168 플라즈마 기초입니다 [1] 1125
167 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1131
166 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1211

Boards


XE Login