안녕하세요, 한국기술교육대학교에서 석사과정중인 최인규입니다.


현재, Plasma 상태에서의 분자와 기판의 반응을 시뮬레이션을 통해서 모사해 보려고 하고 있습니다.


다만 현재 N 플라즈마 상태에서, N이 어떠한 형태로 존재하는지 알지 못하고 있습니다. 


H 플라즈마의 경우에는 I. Mendezet al , J. Phys. Chem . Rev . A 110 2006 ) 6060 6 논문을 참고하여, 


H 원자 형태로 가장 많이 존재하며 그 이후로 H3+, H+, H2+ 순으로 구성되어있다고 하는데,


N 플라즈마의 경우 대부분이 N+ / N2+ 의 비율로만 보여주고 있어 어려움이 있습니다.


혹 N이 이온이 아닌 원자 형태로 존재하는지, 존재를 한다면 N+, N2+ 대비 얼마나 존재 할지 궁금하여 질문드립니다.


감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
192 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 1040
191 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 1054
190 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1062
189 전자 온도 구하기 [1] file 1098
188 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 1101
187 wafer bias [1] 1119
186 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1122
185 자기 거울에 관하여 1130
184 Group Delay 문의드립니다. [1] 1134
183 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1145
182 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 1210
181 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1216
180 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1232
179 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1266
178 플라즈마 기초입니다 [1] 1279
177 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 1307
176 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 1320
175 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 1336
174 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1382
173 플라즈마 관련 교육 [1] 1383

Boards


XE Login