안녕하세요. 눈팅만 몇달을하다..한가지 질문해봅니다..답변이 언제될지모르겠지만..기다리겠습니다..우선좋은 자료를 쉽게설명해줘서 재밌게읽고 아해하고있습니다..궁금한게있는데요..
제가 반도체회사근무중인데..
RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성이 궁금합니다..평가결과는 영향성이있는거같은데..어떻게 메카니즘을 풀어야할지 모르겠네요..

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76538
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91694
172 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1412
171 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1437
170 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1442
169 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1452
168 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1475
167 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1518
166 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1550
165 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1564
164 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1630
163 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1667
162 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1677
161 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1688
160 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1730
159 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1772
158 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1855
157 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1875
156 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1923
155 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 1941
154 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1943
153 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1949

Boards


XE Login