안녕하세요 현재 2차원물질 공정을 연구하는 석사과정 대학원생입니다.

이 공정중에는 플라즈마 처리가 있는데요

power가 커짐에 따라 챔버내부의 빛도 밝아지는 것을 볼수 있는 반면에

압력을 30에서 120mTorr으로 증가시켰을때는 어두워지는 것을 관찰하였습니다.

power와 마찬가지로 압력도 밝기에 비례할것이라고 예상하였는데 어떤 이유가 있는지 궁금합니다.


감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
172 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1413
171 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1437
170 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1442
169 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1452
168 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1475
167 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1518
166 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1550
165 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1564
164 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1630
163 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1667
162 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1677
161 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1688
160 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1734
159 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1776
158 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1855
157 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1876
156 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1923
155 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 1942
154 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1943
153 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1949

Boards


XE Login