안녕하십니까? 대학원에서 플라즈마 상태에 따른 박막의 특성을 연구하고 있는 학생입니다.

현재 연구실에서 OES를 사용하고 있는데, 분석 법 중에서 Actinometry 법 외에 excitation temperature를 구할 수 있는 것을 뒤늦게서야 알게 됐습니다.

몇몇 논문을 봤을 때 랭뮤어 탐침 법으로 electron temperature를 구하고, OES로 excitation temperature를 구한 결과를 비교했을 때 같은 경향성을 나타낸다고 봤습니다. 

여기서 몇 가지 질문할 사항이 있습니다.

1. 그렇다면 OES를 통해 확인하고자 하는 species의 excitation temperature를 구하여, species가 플라즈마 내에서 대략적으로 어떠한 상태인지를 경향성을 확인할 수 있지 않나요?

2. 그리고 electron temperature와 excitation temperature의 차이를 명확하게 모르겠습니다. 간단하게 설명을 부탁드릴 수 있을까요?


감사합니다!.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
152 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 2089
151 플라즈마 관련 기초지식 [1] 2092
150 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 2115
149 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2162
148 플라즈마볼 제작시 [1] file 2214
147 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2225
146 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2274
145 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2318
144 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 2340
143 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 2423
142 질문있습니다. [1] 2544
141 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2716
140 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2719
139 CVD 공정에서의 self bias [1] 3032
138 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3163
137 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 3167
136 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 3224
135 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3315
134 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3362
133 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3390

Boards


XE Login