ATM Plasma 플라즈마를 이용한 오존 발생장치

2004.06.19 17:13

관리자 조회 수:28918 추천:270

질문에 혼돈이 있는 이유는 플라즈마를 이용한 오존 발생기가 있기 때문입니다. 다시 이야기 하면 오존을 만들기에 적합한 플라즈마 발생 방치들이 있다는 말입니다. 이와 다른 방법으로 오존을 만드는 예에대해서는 저는 잘 아지 못하고 다만 플라즈마를 이용한 오존 발생장치를 예로 하겠습니다. 최근에는 DBD 방법으로 산소 플라즈마를 만들다 보면 많은 오존에 형성되게 됩니다. 또한 Corona 방전, 대부분 고전압 펄스 방전에서 형성되는 플라즈마를 의미하는데 이를 대기압 상태에서 형성시키다 보면 공기 중 산소에 의해서 오존이 다량 셩성되기도 합니다. 앞에서 말한 Corona 방전기, 대기압 방전, DBD등은 이전 설명을 참고하시고 이들 방전기를 플라즈마 발생기의 한 종류라 생각할 수 있으며 일반적인 플라즈마 발생기에 비해서 높은 운전 압력, 즉 대기압 등의 조건에서 플라즈마를 발생하는 장치, 큰 의미의 플라즈마 발생기라 할 수 있습니다.

참고로 플라즈마라는 표현은 플라즈마 상태를 의미하는 것으로 물질의 상태 중 하나입니다. 따라서 대부분의 개스는 플라즈마 상태를 만드는 대상이 될 수 있으며 산소를 포함하지 않은 개스를 플라즈마 상태로 만들 경우 물론 오존의 발생 가능성은 거의 없습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76692
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57159
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68680
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92218
158 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 65
157 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 70
156 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 79
155 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 88
154 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 97
153 skin depth에 대한 이해 [1] 105
152 ICP에서 전자의 가속 [1] 126
151 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 140
150 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] file 150
149 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 248
148 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 317
147 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 348
146 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 428
145 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 432
144 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 468
143 plasma striation 관련 문의 [1] file 468
142 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 499
141 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 512
140 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 516
139 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 526

Boards


XE Login