CCP CCP Plasma 해석 관련 문의

2022.08.30 15:27

플라즈마공부 조회 수:779

 

안녕하세요 Plasma 해석 관련 공부 하고 있는 석사 과정 학생입니다. 

다름이 아니라, Plasma 해석 관련하여 몇가지 테스트를 진행하던 도중 궁금한 부분이 있어 질문드립니다.

 

1. 이미지와 같이 CCP Plasma 를 2D Axisymmetry 구조로 단순화하여 상용 S/W 를 통해 해석하고 있는데,

플라즈마 전자 밀도 분포가 Test Result2, 3 와 같이 Center Peak 점이 발생하였습니다. (13.56M, Ar only, Electrode Gap 30mm)

해석 조건 중 Test1 : 200V(약 13W), Test2 : 200W, Test3 : 500W 로 Bias Power만 상이 합니다.

기존에 해석된 예시의 그림을 보면 Test Result1과 같이 나와야 하는 것으로 알고 있습니다. 

해당 결과를 어떻게 봐야할지 모르겠습니다. 실제로 Electric Potential, Te, Ne값들이 일정한 값으로 수렴했습니다...

이러한 형상의 플라즈마가 형성될 수 있는 건가요? 도움 부탁드립니다...

 

2. 위 문제와 별개로 Wall(확산영역) Permittivity가 증가함에 따라 플라즈마 전자 밀도 변화에 대해 해석하였을때,  분포의 구배가 변하진 않지만, 전체적인 전자 밀도가 상승하였습니다. 해당 현상의 가장 주요한 원인이 벽면에서의 전위차의 크기가 바뀌어 플라즈마에 작용한 전기장의 세기가 커졌기 때문이라고 생각합니다. 이렇게 접근하는게 맞는지 궁금합니다...

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [220] 75432
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19168
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56480
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67563
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 89370
125 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 682
124 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 693
123 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 697
122 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 705
121 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 732
120 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 733
119 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 746
118 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 752
117 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 779
» CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 779
115 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 781
114 anode sheath 질문드립니다. [1] 786
113 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 802
112 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 803
111 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 860
110 Plasma Generator 관련해서요. [1] 870
109 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 891
108 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 891
107 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 942
106 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 961
쓰기
태그

Boards

XE Login