Skip to content
플홈
오시는 길
누구
질문방
검색
전체
Plasma in general
DC glow discharge
Collision
Sheath
Ion/Electron Temperature
Others
Plasma Source
ATM Plasma
CCP
ICP
Remote Plasma
Water Discharge Plasma
Others
Chamber component
Matcher
ESC
Pulse operation
Shower head
Chamber Impedance
Others
Monitoring Method
OES
Langmuir Probe
VI(Impedance) Sensor
B dot
Others
Process
Etch
Deposition
Sputtering
Ashing
Others
Others
저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다.
2015.10.12 15:35
최영호
조회 수:9842
안녕하십니까? 지방 국립대학교 석사생입니다.
저온 플라즈마 장비에 관련되서 질문 드리고자 합니다.
고온의 물체(공구날)를 냉각시키는 목적으로 저온 플라즈마 장비를 찾는 중입니다.
이러한 목적에 부합하는 장비에 대한 정보를 요청드립니다.
감사합니다.
댓글
0
목록
번호
제목
조회 수
공지
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[266]
76677
공지
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
20152
공지
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
57151
공지
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
68672
공지
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
92184
118
RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때
[1]
860
117
Plasma Generator 관련해서요.
[1]
907
116
플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다.
[1]
916
115
CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응
[1]
966
114
Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록)
[1]
970
113
anode sheath 질문드립니다.
[1]
979
112
CCP Plasma 해석 관련 문의
[1]
991
111
리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ
1045
110
HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의
[1]
1052
109
전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스)
[1]
1054
108
공정플라즈마
[1]
1144
107
RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계
[1]
1153
106
산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다.
[1]
1160
105
PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활
[1]
1162
104
Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다.
[1]
1164
103
RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화.
[1]
1187
102
micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다.
[1]
1218
101
플라즈마 챔버
[2]
1234
100
Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance
[1]
1256
99
ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다.
[2]
1268
Boards
Close Login Layer
XE Login
아이디
비밀번호
로그인 유지
회원가입
ID/PW 찾기
인증메일 재발송
Close Login Layer