CCP CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활
2016.12.15 13:35
안녕하세요?
제가 알기로는 CCP는 두 전극사이에서 플라즈마가 일어나는 것으로 알고 있는데, 만약 두 전극 사이에 유전체가 속해진다면, 이 유전체가 어떠한 역할을 하는지 알고 싶습니다.
http://plasma.ee.pusan.ac.kr/xe/sou
위의 사이트에서 보니깐 CCP에 유전체가 원래 있는 것처럼 보이는데, 웹에서 다른 내용을 보면 유전체 이야기는 없는, 단지 두 개의 평행한 전극만 이야기하는 내용도 있어서 궁금해서 글을 올립니다.
감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76712 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20168 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57164 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68689 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92257 |
99 | ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] | 1271 |
98 | ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] | 1320 |
97 | DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] | 1330 |
96 | Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] | 1350 |
95 | 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] | 1393 |
94 | dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] | 1402 |
93 | ICP lower power 와 RF bias [1] | 1433 |
92 | N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] | 1440 |
91 | PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] | 1447 |
90 | 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] | 1481 |
89 | plasma 형성 관계 [1] | 1511 |
88 | ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] | 1596 |
87 | CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] | 1607 |
86 | Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] | 1660 |
85 | 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] | 1668 |
84 | ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] | 1734 |
83 | N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] | 1808 |
82 | 가입인사드립니다. [1] | 1880 |
81 | 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] | 1900 |
80 | RF generator 관련 문의드립니다 [3] | 1912 |
CCP 방전은 전극 사이에 플라즈마 유전체가 놓여 있는 형태로 방전이 전극의 전기장에 의해 유지되는장치 를 포괄적으로 지칭하는 말이라도 이해하시고, 전극의 재료와 방전조건에 따라서 유전체를 강조하는 유전체 격벽 방전(DBD;dielectric barrier discharge)가 있고, 공정용CCP 장치등이 있습니다. CCP와DBD는 여러차례 소개가 되었으니 게시판의 내용을 참고하시기 바랍니다.