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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[324]
| 90910 |
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 60007 |
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
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ICP lower power 와 RF bias [Self bias, Floating sheath]
[1] | 1878 |
90 |
안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [Faraday shield]
[1] | 1883 |
89 |
N2, N2O Gas 사용시 Plasma 차이점 [N2 Plasma]
[1] | 1892 |
88 |
Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [ICP match impedance]
[1] | 1899 |
87 |
PECVD와 RIE의 경계에 대해 [DC bias 형성 판단]
[1] | 1912 |
86 |
plasma 형성 관계 [Paschen's law, 플라즈마 주파수]
[1] | 1913 |
85 |
ICP reflecot power [Insulator와 rf leak]
[1] | 1948 |
84 |
가입인사드립니다.
[1] | 2013 |
83 |
ICP와 CCP에서의 Breakdown voltage [Breakdown과 E-H transition]
[1] | 2022 |
82 |
유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [전기장 내 입자 거동]
[2] | 2078 |
81 |
N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [N2 Ionizer 이온 및 중성 입자 해석]
[1] | 2127 |
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RF generator 관련 문의드립니다 [Matcher와 line damage]
[3] | 2284 |
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안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [N2 플라즈마]
[1] | 2302 |
78 |
Remote Plasma가 가능한 이온 [Remote plasma와 diffusion]
[1] | 2433 |
77 |
RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [라디컬 측정 방법 및 세정 기술]
[2] | 2512 |
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교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [Self bias 및 ICP E/H mode]
[2] | 2618 |
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CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [Paschen's Law, P-d 방전 곡선]
[1] | 2663 |
74 |
안녕하세요. 교수님 ICP 관련하여 문의드립니다. [충돌 단면적 및 반응 계수]
[2] | 2702 |
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RPS를 이용한 SIO2 에칭 [Etch와 remote plasma]
[1] | 2711 |
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RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [Standing wave effect]
[1] | 2809 |