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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63743
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54 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7265
53 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] 7898
52 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8264
51 수중플라즈마에 대해 [1] 8307
50 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8324
49 remote plasma 데미지 질문 [1] 8811
48 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 9290
47 대기압 플라즈마에 대해서 9379
46 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9530
45 Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] 9844
44 냉각수에 의한 Power Leak 14346
43 In-flight plasma process 15397
42 ICP TORCH의 냉각방법 15775
41 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] 15836
40 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 15999
39 CCP 의 electrode 재질 혼동 16191
38 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] 16577
37 Plasma Dechuck Process가 궁금합니다. 16918
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