안녕하세요. 플라즈마응용연구실 관라자입니다.

 

금일부터 QnA 글을 작성하기 위해 등업제도를 일부 이용합니다.

 

해당 공지 게시글에 가입 인사를 적어주시면 QnA 글을 쓸 수 있는 권한을 받게 됩니다.

(*별도의 권한 처리 없이 댓글 등록시 바로 QnA 작성이 가능해집니다.)

 

글 작성 전에 반드시 댓글을 남겨주시고 QnA 글을 작성해주시기 바랍니다.

 

감사합니다.

 

** 기존에 글을 작성하셨던 분들도 권한 처리가 필요하므로 간단하게라도 댓글 부탁드립니다.

번호 제목 조회 수
» [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [336] 107997
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 26381
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 63557
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 75215
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 108712
93 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [ICP match impedance] [1] 2005
92 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [Faraday shield] [1] 2046
91 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [Ar plasma, Ar metastable] [1] 2051
90 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [ESC와 Chamber impedance] [1] 2069
89 가입인사드립니다. [1] 2090
88 N2, N2O Gas 사용시 Plasma 차이점 [N2 Plasma] [1] 2108
87 ICP lower power 와 RF bias [Self bias, Floating sheath] [1] 2111
86 plasma 형성 관계 [Paschen's law, 플라즈마 주파수] [1] 2115
85 ICP reflecot power [Insulator와 rf leak] [1] 2131
84 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [DC bias 형성 판단] [1] 2136
83 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [전기장 내 입자 거동] [2] 2171
82 ICP와 CCP에서의 Breakdown voltage [Breakdown과 E-H transition] [1] 2203
81 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [N2 Ionizer 이온 및 중성 입자 해석] [1] 2280
80 RF generator 관련 문의드립니다 [Matcher와 line damage] [3] 2433
79 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [N2 플라즈마] [1] 2495
78 Remote Plasma가 가능한 이온 [Remote plasma와 diffusion] [1] 2710
77 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [Self bias 및 ICP E/H mode] [2] 2736
76 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [라디컬 측정 방법 및 세정 기술] [2] 2780
75 안녕하세요. 교수님 ICP 관련하여 문의드립니다. [충돌 단면적 및 반응 계수] [2] 2816
74 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [Paschen's Law, P-d 방전 곡선] [1] 2865

Boards


XE Login