ATM Plasma Silent Discharge

2004.06.19 16:11

관리자 조회 수:64557 추천:239

Silent Discharge는 일반적으로 Dielectric Barrier Discharge(DBD)라고 불리웁니다.
그런데 왜 silent discharge라 하는지 정확히는 모르지만, 그 이름으로부터 유추할수 있겠지요. 일반적인 대기압 방전으로 arc 방전이 오래 전부터 쓰였는데 이 방전은 소음을  동반합니다. 하지만 dielectric barrier 방전은 조용하지요. 그래서 silent 방전이 아닌가 합니다.

Silent 방전에 관한 좋은 논문으로는 다음을 추천합니다.
U. Kogelschatz, B. Eliasson and W. Egli,  J. Phys. IV France, vol 7, C4-47 (1997)

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76726
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20179
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57166
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68697
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92275
59 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 5994
58 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6364
57 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6410
56 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6647
55 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7649
54 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] 8133
53 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8572
52 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8617
51 수중플라즈마에 대해 [1] 8739
50 대기압 플라즈마에 대해서 9636
49 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 9665
48 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9842
47 Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] 10353
46 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 11319
45 냉각수에 의한 Power Leak 14447
44 remote plasma 데미지 질문 [1] 14457
43 In-flight plasma process 15504
42 ICP TORCH의 냉각방법 15919
41 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] 16035
40 CCP 의 electrode 재질 혼동 16484

Boards


XE Login