Diamond tip으로 insulator, semiconductor, conductor를 긁어서 깨뜨리는 경우, 3 경우 모두 플라즈마가 생기고 이 때 insulator>semiconductor>conductor 순으로 electron 의 에너지가 높은 것으로 알려져있습니다.

( insulator : several hundred to keV,  semiconductor : 0~100 eV,  conductor : negligible )

저는 Ceramic Powder (Y2O3 ~900nm) 를 아음속으로 기판에 분사시켜서 증착하는 Aerosol Deposition 중에도 플라즈마가 생기는 것을 PMT 센서로 계측하고, 이를 증착에 미치는 영향과 연관시키려고 합니다.


질문 사항은 다음과 같습니다.

1. 일반적으로, E-field를 가해서 플라즈마를 생성할 때, electron energy 가 어느 정도 쯤 되나요?

Tribo-Plasma 가 발생하면서 생겼다고 주장하는 keV의 높은 에너지의 전자도 Tribo-Plasma에 의한 것으로 생각할 수 있을까요? 아니라면 다른 어떤 요인이 있을까요?


2. 상온 대기압 하에서 수 keV의 전자가 방출된다면 이 전자는 몇 m 의 거리를 움직일 수 있을까요? 그것을 대략적으로 계산할 수 있는 식은 어떤 것이 있을까요?


3. 플라즈마가 생겼다면, light emission 을 동반할 것이기 때문에, 200~780 nm 의 광을 측정할 수 있는 PMT 센서로 계측 중입니다. PMT Sensor가 기판으로부터 약 3~4cm 정도 떨어져있는데, 특정 조건(증착 조건 : 분말이 깨지는 조건)에서 오작동을 합니다. 수 keV의 전자가 방출되었을 때 계측기에 영향을 미칠 수 있을까요? 


4. 수 um 영역에서 플라즈마가 생겼을 경우 이 때 생성되는 열에너지가 어느 정도가 될까요? 온도가 어느 정도로 증가할까요?

Ceramic 이 깨질 때 형성되는 E-field 는 약 4.4*10^5 V/cm 라고 합니다. 주변 분위기는 Air 로 유지되고 있습니다.


감사합니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76712
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20168
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68690
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92261
59 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 5991
58 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6364
57 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6409
56 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6644
55 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7649
54 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] 8133
53 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8571
52 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8617
51 수중플라즈마에 대해 [1] 8739
50 대기압 플라즈마에 대해서 9635
49 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 9663
48 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9842
47 Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] 10352
46 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 11309
45 냉각수에 의한 Power Leak 14447
44 remote plasma 데미지 질문 [1] 14456
43 In-flight plasma process 15504
42 ICP TORCH의 냉각방법 15919
41 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] 16035
40 CCP 의 electrode 재질 혼동 16484

Boards


XE Login