안녕하세요 현재 2차원물질 공정을 연구하는 석사과정 대학원생입니다.

이 공정중에는 플라즈마 처리가 있는데요

power가 커짐에 따라 챔버내부의 빛도 밝아지는 것을 볼수 있는 반면에

압력을 30에서 120mTorr으로 증가시켰을때는 어두워지는 것을 관찰하였습니다.

power와 마찬가지로 압력도 밝기에 비례할것이라고 예상하였는데 어떤 이유가 있는지 궁금합니다.


감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [300] 77968
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20802
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57714
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69215
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93587
22 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 182
21 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 242
20 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 500
19 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 803
18 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 986
17 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1072
16 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1609
15 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 2017
14 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2201
13 플라즈마 관련 기초지식 [1] 2209
» 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2762
11 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 3465
10 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3582
9 안녕하세요 교수님. [1] 9118
8 플라즈마 살균 방식 [2] 11568
7 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] 13449
6 corona 15905
5 플라즈마에서 전자가 에너지를 어느 부분에서.. 17802
4 Breakdown에 대해 21447
3 DC glow discharge 23303

Boards


XE Login