DC glow discharge DC glow discharge

2004.06.19 16:38

관리자 조회 수:23303 추천:269

DC glow는 음극과(negative electrode) 양극(positive electrode)의 전극에 DC 전압을 인가하여 형성된 전기장에서 가속된 전자들이 공간내 기체 분자나 원자들을 이온화 하여 플라즈마가 형성되게 됩니다. 공간 내에 플라즈마가 형성되면 전자들은 쉽게 양 전극(positive electrode)으로 흘러들어 가게 되고 이온은 질량이 상대적으로 무거워서 음 전극으로 쉽게 흘러들어 가게 되지 않습니다. 따라서 음극과 양 전극 근방에서 일어나는 상황이 서로 대칭적이지 않습니다. 결국 음극 근방에서 형성된 전위 차가 커서 큰 전기장이 형성되고 이 결과로 이온이 가속되게 되는데 이때 음극에 형성괸 전위분포를 음극 전압강하라 합니다. 이 현상은 음극에 형성된 sheath현상으로 이해 할 수 있으며 이 곳은 플라즈마 반응기 내에서 가장 전기장의 세기가 강한 곳으로 전기장의 방향은 음극판을 향합니다. 이 전기장으로부터 가속된 높은 에너지를 가진 이온이 음극 판에 입사하고 음극 표면과 충돌해서 방출되는 전자, 즉 이차전자들은 이 전기장으로부터 가속되면서 반응기 중심부로 날아가게 되고 이들은 다시 공간 내 이온화 반응에 기여함으로써 플라즈마를 유지하는데 매우 중요한 역할을 하게 됩니다. 따라서 음극에서의 전압강하는 플라즈마 유지에 매우 중요한 역할을 합니다. 이에 반해 양극쪽에서는 미약한 전압강하 부분이 있기는 합니다만 위에서 설명한 바와 같이 이 크기는 크지 않기 때문에 중요하게 다루지 않습니다. DC 방전에서 음극 전압강하, 음극 전압강하영역의 거리, 음극의 재질이 매우 중요한 인자임을 알수 있습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [300] 77940
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20790
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57706
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69210
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93568
22 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 182
21 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 241
20 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 495
19 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 803
18 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 985
17 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1072
16 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1609
15 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 2017
14 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2200
13 플라즈마 관련 기초지식 [1] 2209
12 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2762
11 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 3465
10 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3582
9 안녕하세요 교수님. [1] 9117
8 플라즈마 살균 방식 [2] 11564
7 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] 13448
6 corona 15905
5 플라즈마에서 전자가 에너지를 어느 부분에서.. 17802
4 Breakdown에 대해 21446
» DC glow discharge 23303

Boards


XE Login