RF prequency가 증가하면 plasma 상태에서 중성을 유지하려는 힘보다  커져서 중성상태를 깨트릴 수 있다는 의미로 이해하였는데요. 이러면 ion energy가 증가해야하는것이 아닌가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [316] 82074
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21866
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58649
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70269
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 95982
27 Druyvesteyn Distribution 136
26 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [Druyvesteyn distribution 이해] [1] 474
25 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION 간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [플라즈마 충돌 반응] [1] 602
24 플라즈마 진단 공부중 질문 [Balance equation] [1] 828
23 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [Light flower bulb] [1] 1121
22 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [Radio-Frequency Plasma] [1] 1808
21 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [Ion energy와 heat, sheath energy] [2] 2155
» RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2336
19 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [충돌 반응 및 전력 전달 모델] [1] 2576
18 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3197
17 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [Maxwallian EEDF] [2] 3450
16 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [Electron Temperature와 Excitation Temperature] [1] 6059
15 플라즈마 발생 억제 문의 [Induction field와 breakdown] [1] 8189
14 산업용 플라즈마의 특성 [Thermal Plasma와 Cold Plasma] 15215
13 고온플라즈마와 저온플라즈마 [Collision과 Wall loss] 17540
12 플라즈마 온도중 Tr의 의미 17883
11 RF Power에 따라 전자온도가 증가하는 경우에 대하여 궁금합니다. [Power와 Gas ionization] [1] 17972
10 저온 플라즈마에 관한 질문 18236
9 등온플라즈마와 비등온플라즈마 [Pressure와 temperature] 18800
8 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [전자 가열 매커니즘과 이온 에너지] [1] 19005

Boards


XE Login