안녕하십니까, 교수님. 전자과 3학년 학부생입니다.

최근 탐침에 대해 관심이 생겨 공부하던 중, EEDF(EEPF)라는 개념을 접하게 되었는데, 궁금한 부분이 있어 질문 드립니다.

 

공정에 쓰이는 저온 플라즈마의 경우, 입자간 충돌이 상대적으로 적어 입자간 열평형을 이루지 않고, 전자의 경우 maxwellian 분포를 가정한다고 알고있었습니다.

최근 읽은 자료에 따르면,  공정 플라즈마는 non-maxwellian인 경우가 많고, 이는 logEEPF의 기울기를 통해 알 수 있다고 합니다.

 

1. LogEEPF의 기울기라 함은, 전자온도를 의미하는데, 전자 에너지의 대푯값인 전자온도가 두가지인 것이 무엇을 의미하는 것인지 궁금합니다.

2. Non maxwellain 분포가 발생하는 원인이 궁금합니다. 개인적인 생각으로 하나의 원인은, 고에너지의 전자는 쉬스의 voltage barrier을 뚫고 들어가 가열되므로 고에너지 전자의 전자온도(기울기)가 증가한다고 생각했습니다.

 

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [316] 82246
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21896
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58682
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70305
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 96075
27 Druyvesteyn Distribution 136
» Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [Druyvesteyn distribution 이해] [1] 476
25 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION 간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [플라즈마 충돌 반응] [1] 602
24 플라즈마 진단 공부중 질문 [Balance equation] [1] 829
23 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [Light flower bulb] [1] 1125
22 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [Radio-Frequency Plasma] [1] 1809
21 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [Ion energy와 heat, sheath energy] [2] 2156
20 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2336
19 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [충돌 반응 및 전력 전달 모델] [1] 2578
18 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3198
17 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [Maxwallian EEDF] [2] 3451
16 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [Electron Temperature와 Excitation Temperature] [1] 6059
15 플라즈마 발생 억제 문의 [Induction field와 breakdown] [1] 8189
14 산업용 플라즈마의 특성 [Thermal Plasma와 Cold Plasma] 15215
13 고온플라즈마와 저온플라즈마 [Collision과 Wall loss] 17540
12 플라즈마 온도중 Tr의 의미 17883
11 RF Power에 따라 전자온도가 증가하는 경우에 대하여 궁금합니다. [Power와 Gas ionization] [1] 17974
10 저온 플라즈마에 관한 질문 18236
9 등온플라즈마와 비등온플라즈마 [Pressure와 temperature] 18800
8 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [전자 가열 매커니즘과 이온 에너지] [1] 19006

Boards


XE Login