CCP CCP 의 electrode 재질 혼동

2004.06.25 16:47

관리자 조회 수:16480 추천:270

질문 ::

저는 반도체 제조 관련 업종에 종사하며, 플라즈마 Etch, CVD 등의 장비 분석을 맡고 있습니다. 대학에서 물리학을 전공하였으나, 그다지 관심이 없던 플라즈마 분야를 본의 아니게 맡게 되어 골머리를 앓고는 하다가, 이곳에서 많은 도움을 받았습니다. 이런 귀한 사이트를 운영하시는 김곤호 교수님께 우선 감사와 존경을 표하고 싶습니다. 더불어 질문을 하나 드리려고 합니다.

CCP 에서 전극 (electrode) 의 재질이 무조건 금속일 것으로 생각해왔는데요, 인터넷 검색이나 문헌 등을 보면, 그렇지 않다는 얘기가 나옵니다. RF discharge 의 경우, 전극이 반드시 금속일 필요는 없으며 dielectric material 일 수도 있다고 합니다 (Si, quartz, ceramic 등). 물론, 기본적으로 금속 재질 plate 를 이러한 유전 물질로 coating 했을 것으로 짐작이 되는데요, 그렇다면,

CCP 전극이 순수 metal 일 경우와 유전 물질일 경우의 차이점 (RF power 전달 효율, sheath 의 상태, electrode 의 damage) 을 알고 싶습니다.

답변 ::

CCP 전극의 재질은 도체나 부도체를 써도 플라즈마를 발생하는데는
문제가 없습니다. 특히 여기서 전력이 인가되는 power electrode 쪽의
재질이 문제가 될턴데, 이곳에서의 쉬스 전위는 self bias 효과에 의해서만들어진 전극표면의 전위에 대해서 형성되고 이 크기로 이온이 삽입됩니다. Self bias는 float 된 표면에서 발생함으로 전극의 표면이 도체건,
부도체건 큰 문제가 없을 것 입니다. 따라서 먼저 self bias를 이해하시면 좋을 것 같으며 (이미 설명하였습니다.) 이때  쉬스 전위 에너지를 갖는 이온이
전극과 충돌하여 전극 표면으로 부터 이차전자가 방출되는데 이들
이차전자들은 플라즈마 발생에 매우 큰 영향을 주게 됩니다. 따라서
이차전자 방출계수가 큰 전극 물질이 플라즈마 발생 측면에서는 유리합니다.
따라서 실제 많은 반응기에서는 반응기내부의 청정문제등을 고려하여
전극에 세라믹등을 씌워서 사용하고 있습니다.
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76538
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91694
26 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] file 128
25 plasma striation 관련 문의 [1] file 461
24 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 566
23 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 588
22 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 638
21 라디컬의 재결합 방지 [1] 777
20 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 850
19 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 948
18 anode sheath 질문드립니다. [1] 959
17 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 971
16 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 1043
15 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 1192
14 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1425
13 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1594
12 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 2250
11 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3498
10 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 4712
9 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7629
» CCP 의 electrode 재질 혼동 16480
7 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 16645

Boards


XE Login