안녕하십니까, 플라즈마 관련하여 공부하고 있으며 디스플레이 업체에 근무하고있습니다.

 

몇 가지 궁금증이 있어서 글을 남기게 되었습니다.

 

OES의 경우 Plasma 정성적 특성을 계측하기 위하여 주로 사용된다고 알고 있습니다. 실제로 Gas 트랜드 및 Chamber 분위기 등의 변화를 

계측할때 사용하고 있습니다.

그런데, OES를 가지고 정량적 측정을 한다는 이야기를 들어서 여쭤보려합니다.

(RGA를 이용한 방법은 몇 가지 논문을 확인하였으나, OES는 생소합니다.)

 

1. 정량적 측정을 하는 방식이 궁금합니다. (혹시 추천해줄 논문 or 자료가 있으시면 읽어보겠습니다.)

 

2. 현재 OES를 사용하여, Chamber 내 H(수소) 함량을 알려고 하는데 가능한지 여쭤보려합니다. (Ar 가스 or N2 가스가 아닙니다.)

 

3. 만약 가능하다면, 참고 할만한 자료가 있으면 추천 부탁드립니다.

 

 

*PECVD Deposition 공정에서 OES를 통한 H(수소) 함량에 따른 Wafer 막질의 변화를 확인하기 위하여 진행하려합니다.

 

 

여러가지 다양한 질문과 답변을 통하여 자료를 찾는데 많은 도움을 받고 있습니다.

감사합니다.   

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [320] 85654
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 22588
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 59287
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 71023
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 98046
43 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [SiC 식각과 Ring 교체 주기 및 모니터링 방법] [1] 634
42 활성이온 측정 방법 [한국 기계 연구소 송영훈 박사팀] [1] 696
41 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [데이터+플라즈마광학 모델] [1] 795
40 OES를 통한 공정 개선사례가 있는지 궁금합니다. [플라즈마의 분포와 공정 진단] [1] 803
39 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [핵융합 연구소 자료] [1] 874
38 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [OES와 atomic spectroscopy] [1] 940
» OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [수소, Ar 단원자 진단] [1] 1021
36 고전압 방전 전기장 내 측정 [전극과 탐침과의 간격] [1] file 1201
35 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [Langmuir probe와 ground] [1] file 1206
34 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [플라즈마 공간 분포 진단] [1] 1288
33 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [B-dot probe, plasma diagnostics] [1] 1441
32 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [전자전류의 해석] [1] 1523
31 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [전자 소실 및 플라즈마 전위] [3] 1557
30 Plasma 발생영역에 관한 질문 [Plasma sheath의 형성과정] [2] 1577
29 charge effect에 대해 [Self bias 및 capacitively couple] [2] 1714
28 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [Intensity 넓이 계산] [1] 1789
27 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [Plasma spectroscopy] [1] 1950
26 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [Excitation transfer 반응과 방사천이율] [1] 2065
25 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [군산대학교 주정훈 교수님] [1] 2171
24 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [OES, VI 신호 및 가상계측 인자] [2] 2288

Boards


XE Login