OES RGA에 대해서

2004.06.19 16:41

관리자 조회 수:10162 추천:267

질문 ::
제주대학교 최치규 교수님 연구실의 대학원생입니다.
CF4와 CH4 gas를 써서 ICP로 증착하는데, 실제 chamber내에
어떤 gas가 들어가는지를 RGA로 측정하려하는데 실제 나오는
peak이 제가 생각하는것과 너무 이상하게 나와서 문의드립니다.
예를 들어 컴퓨터상의 프로그램에서 가로축은 gas의 mass를 의미하는데 28인 경우 N2라 예상되어지는데 실제 peak은 너무 다르게 나와서
문의드립니다.
혹시 RGA에 대한 library가 있으시다면 부탁드립니다.

답변 ::

글쎄, 질문만으로는 무슨 문제인지 알 수 없군요.
일단 inert gas를 이용하거나 He, Ar과 같은 단원자 분자 개스를 이용하여
플라즈마를 만들고 RGA를 동작시켜 보세요. 이들에 대한 원자 질량은 분명하므로
값을 쉽게 비교할 수 있을 것이며 구체적인 실험은 지도 교수님과 상의해 보는 것이
좋을 것 같습니다. 물론 결과에 의심이 가면 계측기 vendor와도 상의하십시오.
Liberary상의 문제는 아닐 것 같습니다.

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