Others 공정검사를 위한 CCD 카메라 사용

2004.06.19 16:42

관리자 조회 수:16119 추천:254

만일 플라즈마의 on/off 상태를 알 고자 함이면 일반적인 CCD 카메라를 이용해서
감시할 수 있을 것이며 특별할 상태의 빛 파장대를 관찰하고자 한다면 이 주파수에
맞는 lenz와 filter등을 이용한 CCD를 사용하여야 합니다. 혹은 corona streamer
등을 측정하고자 한다면 수 mirosec의 변화를 관찰할 수 있는 intensified CCD를
사용하게 됩니다. 이때는 CCD의 time resolution이 문제가 되니 이점을 잘 고려
하여야 할 것입니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] 79245
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21262
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58064
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69622
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94410
23 Wafer particle 성분 분석 [플라즈마 세정] [1] 2423
22 VI sensor를 활용한 진단 방법 [Monitoring과 target] [2] 3062
21 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [ONO 공정 중 질화막 모니터링] [2] 3413
20 자료 요청드립니다. [1] 6259
19 RGA에 대해서 10613
18 laser induced plasma의 측정에 관하여 [Ablation plasma와 resolution] 14751
» 공정검사를 위한 CCD 카메라 사용 16119
16 PSM을 이용한 Radical 측정 방법 [이온화 전자 전류의 증가] file 17138
15 RF compensate probe 18485
14 플라즈마진단법엔 어떤것이? [접촉/비접촉식 진단법] 18784
13 AMS진단에 대하여 궁금합니다 file 19072
12 QMA에 관하여 [1] 19494
11 Noise 문제, 탐침에 의한 식각 플라즈마의.. [RF ground와 Cl Plasma] 19730
10 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [Enthalpy probe] [1] 20324
9 Langmuir probe tip 재료 20458
8 플라즈마 진단법에 대하여 [플라즈마 진단과 Spectroscopy] [1] 20697
7 IEDF EQP에 대한 답변 file 20840
6 대기압 플라즈마 진단 [탐침을 통한 대기압 진단의 문제점] 21051
5 플라즈마 측정기 [How Langmuir Probe Works] [1] 21397
4 pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련 [Pulse plasma와 trigger-in] [1] 22706

Boards


XE Login