현재 BTO 박막을 CF4/Ar gas 를 이용하여 플라즈마 식각을 진행하고 있습니다. 

OES 분석을 위해 CF3 파장이 필요한데 제가 가지고 있는 data에 없어서 이렇게 문의 드립니다.

혹시 OES 분석이나 실험 분석에 사용했던 CF3의 파장이 있으시다면 알려주실수 있으신가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [316] 82247
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21896
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58682
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70305
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 96076
13 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [SiC 식각과 Ring 교체 주기 및 모니터링 방법] [1] 575
12 OES를 통한 공정 개선사례가 있는지 궁금합니다. [플라즈마의 분포와 공정 진단] [1] 753
11 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [데이터+플라즈마광학 모델] [1] 754
» CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [핵융합 연구소 자료] [1] 828
9 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [OES와 atomic spectroscopy] [1] 887
8 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [수소, Ar 단원자 진단] [1] 944
7 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [Intensity 넓이 계산] [1] 1692
6 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [Plasma spectroscopy] [1] 1864
5 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [Excitation transfer 반응과 방사천이율] [1] 2006
4 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [ONO 공정 중 질화막 모니터링] [2] 3439
3 자료 요청드립니다. [1] 6300
2 RGA에 대해서 10619
1 OES 원리에 대해 궁금합니다! [플라즈마 빛의 파장 정보] [1] 26887

Boards


XE Login