ESC Dry Etcher 내 reflect 현상
2009.08.07 13:39
안녕하세요 저는 Dry Etcher 네 세라믹 Coating Type 정전척 ESC 만드는 회사에 다니고 있습니다.
다름이 아니라 고객사에서 Dry Etcher 장비 의 Reflect현상이 발생했다고 하는데 , 이현상에 대해 설명 부탁드립니다.
아울러 이 현상과 ESC 연관성에 대해서도 설명 부탁드립니다.
댓글 2
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김곤호
2009.08.04 16:47
질문을 좀 더 상세하게 해 주세요. Reflect라면 power reflection을 의미하는 것인지 불분명합니다. ESC에 인가하는 RF에서 power reflection이 일어났다면 이는 matching에 문제가 생겼다는 말이 됩니다. 또한 ESC 내의 변화나 chuching condition의 변화가 있다는 말이 됩니다. 여러 이유가 있겠지만, ESC 재질의 변화나 cooling gas leak 등을 먼저 고려해야 할 것 같습니다. 따라서 Bias power 조절 대비 chuck 전압 및 전류를 세심하게 관찰해 보면 특정 변위에서의 상태 변화를 관찰할 수 있을 것 같습니다. 아울러 ESC의 해석은 주로 capacitance의 관점과 field breakdown의 관점으로 간격, 재질 등을 살펴서 약점을 보완해 가면 좋을 것 같고, etchi byproduct 등의 미세 물질이 ESC에 depo 된 경우 틈새가 만들어지면서 영향을 받을 수 도 있어 cleaning도 중요합니다. 참고가 되었으면 합니다. -
김기권
2009.08.07 13:39
좋은답변 감사합니다.
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