ESC ESC Cooling gas 관련

2019.02.21 19:22

jake88 조회 수:3515

Etch공정에서 ESC Cooling gas로 He을 주로 사용하는데 열전도도가 좋고 불활성가스라는 이유로 많이 사용되는것으로 알고있습니다

비교적 원가가 저렴한 N2가스를 사용하는 경우도 있을까요? 열전도도 반응성이 N2또한 괜찮은것으로 알고있는데 혹시 문제가 있을까요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76543
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20078
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57116
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
101 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 832
100 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 836
99 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 868
98 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 951
97 고진공 만드는방법. [1] 1001
96 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 1001
95 Plasma Arching [1] 1025
94 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 1099
93 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 1124
92 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 1147
91 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1250
90 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1318
89 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1384
88 MATCHER 발열 문제 [3] 1425
87 알고싶습니다 [1] 1438
86 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1446
85 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1449
84 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1456
83 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1479
82 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1485

Boards


XE Login