안녕하십니까 교수님. 플라즈마를 공부하면서 생긴 궁금증으로 인해 질문드립니다.
아래 첨부된 그림파일과 같은 회로에서 임피던스 매칭 회로의 구동원리는 어떻게 되는지요?
임피던스 매처에서 만약 X<0인 capacitive 인 경우 , X>0인 inductive인 경우 각각 임피던스 매칭회로의 변화는 어떻게 되는지 궁금합니다.
항상 감사드립니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76727 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20184 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57167 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68699 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92278 |
| 102 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 815 |
| 101 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 839 |
| 100 | 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] | 844 |
| 99 | Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] | 883 |
| 98 | 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] | 960 |
| 97 | 고진공 만드는방법. [1] | 1008 |
| 96 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 1008 |
| 95 | Plasma Arching [1] | 1051 |
| 94 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 1113 |
| 93 | 대학원 진학 질문 있습니다. [2] | 1157 |
| 92 | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 1223 |
| 91 | 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] | 1270 |
| 90 |
CCP 챔버 접지 질문드립니다.
[1]  | 1324 |
| 89 | ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 | 1418 |
| 88 | MATCHER 발열 문제 [3] | 1429 |
| 87 | 알고싶습니다 [1] | 1457 |
| 86 | rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] | 1459 |
| 85 | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. | 1459 |
| 84 | Impedence 위상관련 문의.. [1] | 1463 |
| 83 | IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] | 1514 |
RF 전원을 안테나 (ICP) 혹은 전극 (CCP/RF bias)에 인가시키기 위해서는 reactance term을 소거하여야 전원으로 부터 전달되는 전자기파를 온전히 안테나 및 전극으로 보낼 수가 있고, 이를 impedance matching이라 합니다. 소거 방법은 reactance의 위상차를 이용하는 방법으로 inductive reactance 와 capative reactace 간의 180도 위상차를 활용하면 상호 직렬연결시키면 소거를 시킬 수가 있겠습니다. 혹은 같은 reactance 로는 직병렬회로 연결을 통해서 소거가 가능합니다. 해당 내용은 전기공학의 회로 이론을 보면 참고가 수월할 것이며, 본 게시판에서 impedance matching 에 대한 설명을 참고하시면 도움이 될 것 같습니다.