Matcher Impedence 위상관련 문의..

2017.06.30 04:39

메탈 조회 수:1510

안녕하세요. 전에도 몇번 질문드렸었습니다만,, 반도체 관련회사에서 근무하고 있습니다.

RF (ICP)장비를 다루고 있는데 impedence 위상관련해서 문의 좀 드리려고 합니다.


impedence 매칭은 저항과 위상으로 조정하데..

공정 parameter (Ar pressure , AC power 등)의 변화로 위상이 변화할수 있을까요?

변화된다면 어떤 이유로 변화되는지 조금 자세하게 설명을 듣고 싶습니다..


그리고 정말 죄송한데 smith chart program 을 사용하고 싶은데..도움 받을 site가 있을까요?

검색해서 찾아봐도 알수 없는 site로 이동이 되서...찾기가 어렵습니다만..

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [302] 78023
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20838
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57736
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69251
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93627
42 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 105
41 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 403
40 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 444
39 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 616
38 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher] [2] 678
37 RF 파워서플라이 매칭 문제 870
36 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 880
35 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 908
34 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 1048
33 Plasma Arching [1] 1132
32 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 1187
31 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1334
30 MATCHER 발열 문제 [3] 1483
» Impedence 위상관련 문의.. [1] 1510
28 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1510
27 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1667
26 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1960
25 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1993
24 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 2011
23 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 2451

Boards


XE Login