Matcher Plasma Arching

2022.09.13 19:17

플라즈마어렵다1 조회 수:324

안녕하십니까!

경기도 모 소재대학에 신소재공학과 재학중인 학생인데 

신소재공학과는 전자기학을 배우지 않아서 어려움을 겪고있습니다.

1. 아킹 현상에 대해 공부중인데 임피던스 매칭? 이런 개념들이 너무 어렵고 플라즈마에 대해 이해도를 높이기 위해 전자기학 책 (원서도 좋습니다) 추천해주실만한 서적있으신가요?

 

답변주시면 감사하겠습니다. 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [131] 5633
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16938
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51356
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64231
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84428
» Plasma Arching [1] 324
36 RF 파워서플라이 매칭 문제 402
35 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 442
34 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 576
33 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 643
32 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 683
31 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 740
30 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 796
29 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 908
28 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1155
27 MATCHER 발열 문제 [3] 1178
26 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 1185
25 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1219
24 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1607
23 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1650
22 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1758
21 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 1972
20 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2026
19 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 2093
18 임피던스 매칭회로 [1] file 2219

Boards


XE Login