Matcher 13.56MHz resonator 해석 관련 문의
2014.07.10 20:00
안녕하세요
다름이 아니오라 제가 플라즈마 장비에 장착된 13.56MHz resonator 해석중인데요.ㅎ
혹시 HFSS를 이용하여 해석해 보신 경험이 있으신지요?
만약에 있으시거나 도움을 받을 만한 것들이 있다면 알려주시면 감사하겠습니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [179] | 74891 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 18743 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56227 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 66698 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 88060 |
| 37 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 499 |
| 36 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 578 |
| 35 | Plasma Arching [1] | 657 |
| 34 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 717 |
| 33 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 788 |
| 32 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 854 |
| 31 | 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] | 935 |
| 30 | Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] | 1065 |
| 29 | 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] | 1217 |
| 28 | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. | 1272 |
| 27 | MATCHER 발열 문제 [3] | 1292 |
| 26 | Impedence 위상관련 문의.. [1] | 1307 |
| 25 | 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] | 1554 |
| 24 | 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] | 1745 |
| » | 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] | 1839 |
| 22 | 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] | 1893 |
| 21 | Load position 관련 질문 드립니다. [1] | 2186 |
| 20 | 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] | 2188 |
| 19 |
임피던스 매칭회로
[1]  | 2434 |
| 18 | Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] | 2941 |