Matcher 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [Resonator의 matching]

2014.07.10 20:00

ㅇㅇ 조회 수:2113

안녕하세요

다름이 아니오라 제가 플라즈마 장비에 장착된 13.56MHz resonator 해석중인데요.ㅎ

혹시 HFSS를 이용하여 해석해 보신 경험이 있으신지요?

만약에 있으시거나 도움을 받을 만한 것들이 있다면 알려주시면 감사하겠습니다.

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