Deposition O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다.
2022.11.23 17:08
안녕하세요. TBIDMW를 사용한 WC_x 박막에 관한 논문을 읽던 중 궁금한 점이 생겼습니다.
TBIDMW 소재 관련 공정 진행 후 남은 부산물에 관해 O2 Plasma를 사용한 PPS 시스템 사용 시
아민 계열을 해리시키고 남은 메탈 소재에 대해서 O2 plasma로 부산물을 안전하게 처리가 되는지 궁급합니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] | 5835 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17290 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 53125 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 64509 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 85123 |
| 154 | 기판표면 번개모양 불량발생 [1] | 74 |
| 153 | AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 | 186 |
| 152 |
RF Sputtering Target Issue
[1]  | 222 |
| 151 |
Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동
[1] | 225 |
| 150 | Polymer Temp Etch [1] | 229 |
| 149 | Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] | 258 |
| 148 | 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] | 300 |
| 147 | OLED에서 SF6와 CF4를 사용하는 이유를 알고 싶습니다. [1] | 337 |
| 146 | magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] | 368 |
| 145 | PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] | 369 |
| 144 | doping type에 따른 ER 차이 [1] | 369 |
| » | O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. | 418 |
| 142 | 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] | 434 |
| 141 | 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] | 440 |
| 140 | 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] | 492 |
| 139 | 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] | 505 |
| 138 | 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] | 514 |
| 137 |
Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다.
[1] | 524 |
| 136 | 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] | 527 |
| 135 | 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] | 535 |