Etch O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의
2020.10.28 15:20
안녕하십니까
반도체 소재 회사에 다니고 있는 노은수 입니다.
궁금한게 있어서 문의 드립니다.
O2 etch 후 gas의 접촉면과 닿은 polymer에서 아래의 그림과 같이 손톱모양으로 변성(?)이 되는 현상이 있는데 왜 이러한 현상이 발생 하는지 알고 싶습니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] | 5816 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17284 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 53109 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 64497 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 85109 |
51 | AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 | 183 |
50 |
Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동
[1] ![]() | 217 |
49 | Polymer Temp Etch [1] | 224 |
48 | Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] | 249 |
47 | doping type에 따른 ER 차이 [1] | 366 |
46 | 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] | 433 |
45 | etch defect 관련 질문드립니다 [1] | 552 |
44 | RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] | 599 |
43 | Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] | 612 |
42 | 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] | 632 |
41 | RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] | 666 |
40 | Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] | 724 |
» |
O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의
![]() | 866 |
38 | Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] | 926 |
37 | Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] | 941 |
36 | 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] | 996 |
35 | 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. | 1018 |
34 | 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] | 1236 |
33 |
poly식각을 위한 조언 부탁드립니다.
![]() | 1264 |
32 | [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] | 1285 |