안녕하세요. 플라즈마응용연구실 관라자입니다.

 

금일부터 QnA 글을 작성하기 위해 등업제도를 일부 이용합니다.

 

해당 공지 게시글에 가입 인사를 적어주시면 QnA 글을 쓸 수 있는 권한을 받게 됩니다.

(*별도의 권한 처리 없이 댓글 등록시 바로 QnA 작성이 가능해집니다.)

 

글 작성 전에 반드시 댓글을 남겨주시고 QnA 글을 작성해주시기 바랍니다.

 

감사합니다.

 

** 기존에 글을 작성하셨던 분들도 권한 처리가 필요하므로 간단하게라도 댓글 부탁드립니다.

번호 제목 조회 수
» [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [262] 76503
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20045
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57103
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68585
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91553
15 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 376
14 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 532
13 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 856
12 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1481
11 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1678
10 chamber impedance [1] 2001
9 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 2284
8 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2560
7 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 3524
6 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 3620
5 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 5839
4 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 7124
3 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24727
2 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24815
1 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 27199

Boards


XE Login