Others analog tuner관련해서 질문드립니다.
2017.03.07 16:14
안녕하세요 반도체 장비회사에서 인턴으로 일하고있습니다.
pecvd장비를 이용해 ACL(amorphous carbon layer)을 올리는데 박막 stress를 줄여보고자 analog tuner를 chamber side와 bottom에 달았습니다.
여기서 궁금한 것은 analog tuner가 어떤 원리로 쓰여지는건지 궁금합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [179] | 74891 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 18745 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56228 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 66701 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 88061 |
| 24 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 542 |
| » | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 556 |
| 22 | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 564 |
| 21 | 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] | 683 |
| 20 | 고진공 만드는방법. [1] | 897 |
| 19 | Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] | 1867 |
| 18 | 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] | 9538 |
| 17 | 반응기의 면적에 대한 질문 | 12742 |
| 16 | Electrode 의 역할에 대해서 궁금합니다. | 17174 |
| 15 | Faraday shielding & Screening effect | 18256 |
| 14 | 최적의 펌프는? | 18464 |
| 13 | CCP/ICP에서 자석의 역활에 대하여 | 19235 |
| 12 | MFC | 19244 |
| 11 | 석영이 사용되는 이유? [1] | 19779 |
| 10 |
CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마...
[1]  | 20172 |
| 9 |
전자파 누설에 관해서 질문드립니다.
[1] | 20975 |
| 8 | Peak RF Voltage의 의미 | 22342 |
| 7 |
반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다.
| 24209 |
| 6 | RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] | 24642 |
| 5 | 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? | 25483 |
저희는 잘 모르는 jargon 입니다. Tuner가 power 혹은 impedance를 맞추기 위한 추가 tunning knob을 의미하는지는 모르겠습니다, 다만 장치가 제공하는 공정 중에 plasma 상태에 따른 피막의 스트레스 성분에 대한 자료가 있어야 이를 사용할 수 있을 것이라는 생각이 듧니다. 자료가 충분히 제공이 되지 않았다면, 박막 재료 하시는 분과 먼저 논의하기를 추천합니다. 저희는 박막의 특성을 잘 모르며, 박막 플라즈마를 다룬 경험이 많지 않습니다만, 박막 플라즈마를 하는 연구실에서는 알 수도 있는 일입니다. 다만 관련 플라즈마 정보를 얻기가 쉽지 않으므로, tunning의 원리를 찾기에는 연구가 필요할 것으로 예상합니다.