Others N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점

2022.05.12 00:29

윤태화 조회 수:1576

안녕하세요. 반도체회사에서  PECVD 장비를 하고있는 윤태화입니다.

 

GAS 종류에 따른 Plamsa 진행시 차이점이 있는지 궁금합니다.

 

1. N2 Gas 로 Plasma 진행 시 장단점

2. N2O Gas 로 Plasma 진행 시 장단점

3. N2 / N2O  두 Gas의 Plasma 차이점 

4. N2 및 N2O GAS 사용으로 Plasma 4~5분 노출 시 챔버 내부 변색 가능성? 한두달 뒤 변색이 될 가능성..

 

위 4개 질문드립니다. 

 

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [301] 78014
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20833
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57735
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69249
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93625
30 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파] [1] 61
29 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 484
28 핵융합 질문 [1] 592
27 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 600
26 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 713
25 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 804
24 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 809
23 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 864
22 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 958
21 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1259
20 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1305
19 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 1446
» N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1576
17 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1828
16 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1927
15 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 2380
14 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2778
13 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3364
12 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3507
11 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [3] 4760

Boards


XE Login