번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [101] 3659
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15347
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50578
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63000
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 82154
65 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1705
64 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 1773
63 Si Wafer Broken [2] 1784
62 Load position 관련 질문 드립니다. [2] 1788
61 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 1888
60 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 1911
59 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2011
58 임피던스 매칭회로 [1] file 2049
57 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2071
56 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 2347
55 ESC Cooling gas 관련 [1] 2718
54 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 3010
53 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 3726
52 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 3799
51 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 4373
50 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 4963
49 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5264
48 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 5568
47 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 5645
46 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 5677

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