질문하실 때 실명을 사용하여주세요.

2010.11.25 15:38

관리자 조회 수:83514 추천:380

플라즈마에 관심있으신 모든 분이 활용하고 플라즈마의 지식을 공유할수 있는 공간을 제공한다라는 원칙을 갖고 있습니다. 따라서 의견을 개진 하실 때는 자신의 이름을 분명히 밝혀주셔야 합니다. 그럼으로써 서로 알고 있는 플라즈마의 지식을 자유롭게 공유할 수 있을 것 입니다. 이 사항을 협조하여 주지기 바랍니다. 본인의 이름을 밝히지 않는 사람의 의견은 일주일 이내에 내용이 삭제됩니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [112] 4887
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16228
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63747
» 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83514
68 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 1696
67 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1730
66 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 1755
65 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 1785
64 Si Wafer Broken [2] 1844
63 Load position 관련 질문 드립니다. [2] 1873
62 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 1878
61 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 1953
60 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 2018
59 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2112
58 임피던스 매칭회로 [1] file 2116
57 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2129
56 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 2459
55 ESC Cooling gas 관련 [1] 2814
54 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 3280
53 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 3770
52 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 4059
51 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 4471
50 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 5032
49 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5296

Boards


XE Login