플라즈마 생성 원리에 대해서는 본 QA에서 여러번 논의가 되었으니 참고하시면 좋겠습니다. 참고로 제 견해를 말씀드리면 다음과 같습니다.
방전은 파센의 법칙에 따라서 방전 전압이 형성되면 방전이 개시됩니다. 여기서 방전의 개시는 형성된 전기장에서 가속된 전자가 입자(아르곤)과 충돌하면서 이온화되어 아르곤이온과 전자들이 만들어 지고 이렇게 만들어진 전자들이 다시 공간의 전기장에서 가속되면서 이온화 반응을 계속 일으켜 (산사태반응) 다량의 이온과 전자들이 공존하고 있는 상태, 즉 플라즈마 상태가 됩니다. 이 상태가 존속하려면 생성량이 손실량보다 커야 합니다. 여기서 손실은 이온이 전자와 재결합하는 반응에 의하거나, 전하들이 벽으로 손실되는 양을 의미하나, 대부분 공간 보다는 벽에서 재결합하거나 빠져나가게 됩니다. 이것이 균형을 이루면 플라즈마는 안정적으로 유지되게 됩니다.
따라서 질문에서와 같이 원하지 않은 플라즈마가 생겨 유지된다는 의미는 플라즈마가 형성되어 있는 공간에 이온화에 충분한 전기장, 다르게 표현하면 전자들이 이온화에 충분한 에너지를 갖도록 전기장이 충분히 생겨있다는 의미가 됩니다. 따라서 형성된 전기장을 줄이거나, 전자들이 얻는 에너지를 줄이는 방법이 최선일 것입니다. 전기장을 줄이려면 안테나 (코일) 전류를 줄여야 하겠지만 이렇게 되면 유도 가열 온도도 같이 낮아짐을 고려해야 할 것입니다. 아울러 전자가 얻는 에너지를 줄이는 방법은 전자가 에너지를 얻는 방법이 전기장 공간에서 이동하면서 에너지를 얻게 됩니다. 이동 거리를 평균한 충돌 평균 행정 거리 (mean free path)를 짧게 하는 것으로 압력을 높이면 자연히 MFP가 줄어 들게 됩니다. 하지만 가열온도가 쉽게 식는 효과도 있으니 같이 고려해야 하겠습니다. 따라서 진공 조건이 플라즈마를 만드는 이유는 맞는 것 같으며 우선하는 대체 방법은 운전 압력을 높이는 방법이 되겠습니다. 파우더의 벽면 오염 문제는 방전 보다는 스파크 현상을 야기할 것 같아 마치 불꽃 현상이 보이지 않는다면 벽면 오염은 크게 걱정하지 않아도 좋을 것 같습니다.