플라즈마를 이용해서 가스 분해를 해봤는데요

분광진단을 통해서 플라즈마 토치의 위치별 분해된 종들의 rotational temperature를 측정해 봤습니다.

근데 어떤 한 분해종이 플라즈마 토치중심부에서  위로 올라갈수록 온도가 올라가는 경향이 타나났습니다.

이런 현상이 나타나는 원인이 무엇인가요? 몇번을 측정해도 같은 결과가 나오더군요

혹시 rotational temperature가 밀도와 관련이 있나요? 그 분해종은 저온영역에서 밀도가 급속도로 높아지는 경향이 보이거든요

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [112] 4884
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16225
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63745
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83510
678 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. new 1
677 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 5
676 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 file 26
675 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 38
674 Polymer Temp Etch [1] 53
673 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 63
672 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 79
671 Plasma Arching [1] 84
670 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 103
669 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 135
668 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 157
667 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 180
666 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 197
665 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 200
664 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 203
663 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 207
662 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 212
661 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 215
660 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 239
659 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 273

Boards


XE Login