안녕하십니까 교수님 저는 한양대학교에서 학부연구생으로 공부를 하고 있는 이창경입니다.

제가 플라즈마에 대해서 공부를 하고 있는중에 플라즈마 소스에 대해서 여러가지 알아보았습니다.

그런데 요즘은 ICP 플라즈마 소스의 등장으로 ECR 플라즈마 소스를 잘 사용하지 않는다고 들었는데 그 이유를 정확히 찾지 못하다 교수님의 연구실 홈페이지를 알게 됐고 질문방에 답을 찾다가 찾지 못해서 이렇게 직접 글을 올리게 됐습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76540
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68614
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
783 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 19
782 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 34
781 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 36
780 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 39
779 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 50
778 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 56
777 Microwave & RF Plasma [1] 67
776 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 70
775 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 75
774 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 83
773 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 93
772 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 104
771 ICP에서 전자의 가속 [1] 106
770 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 116
769 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 119
768 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 129
767 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] file 129
766 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 138
765 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 141
764 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 155

Boards


XE Login