안녕하세요. 경희대학교에서 플라즈마에 대한 학부연구를 진행하고 있는 박준우라고 합니다.

플라즈마의 전자 온도에 대한 간단한 질문이 있어 QNA 드립니다.

 

플라즈마 내의 전자가 물질(substrate)과 충돌했을 때, 맞은 substrate의 전자도 온도가 올라가는 것으로 알고 있습니다.

이 때 일반적으로 진공에 떠돌아 다니는 전자의 온도와, substrate의 전자 온도의 정의를 똑같이 할 수가 없다고 하는데, 정확히 어떻게 정의가 달라지는지 궁금하여 질문 드립니다.

 

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [113] 4906
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16238
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63754
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83550
678 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 17
677 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 24
676 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 file 33
675 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 54
674 Polymer Temp Etch [1] 60
673 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 73
672 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 81
671 Plasma Arching [1] 95
670 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 106
669 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 137
668 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 157
667 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 194
666 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 199
665 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 202
664 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 205
663 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 208
662 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 215
661 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 218
660 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 246
659 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 274

Boards


XE Login