Chamber Impedance chamber impedance

2019.09.24 15:45

nok73 조회 수:2003

안녕하십니까? 교수님, 


ALD 챔버를 제작되기 전에 매쳐 설계를 해야 하는 상황이어서 질문 드립니다. 

알루미늄 챔버의 사이즈, 전극사이즈, 웨이퍼사이즈, 전극과 웨이퍼 간격, 압력등의 정보를 가지고 챔버임피던스 계산이 가능 한지요? 

또한 시뮬레이션 하는 툴이 있을까요? 

답변을 부탁 드립니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76542
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20078
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57116
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
503 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1399
502 ICP lower power 와 RF bias [1] 1406
501 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1412
500 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1414
499 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 1417
498 MATCHER 발열 문제 [3] 1425
497 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1427
496 Ar plasma power/time [1] 1429
495 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1437
494 알고싶습니다 [1] 1438
493 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1442
492 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1446
491 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1448
490 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1449
489 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1451
488 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1453
487 charge effect에 대해 [2] 1454
486 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1456
485 plasma 형성 관계 [1] 1466
484 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1471

Boards


XE Login