OES 플라즈마 진단 OES 관련 질문
2022.11.27 01:07
안녕하세요, 플라즈마 관련하여 공부하고 있는 대학원생입니다.
플라즈마 진단 장비인 OES에 대해 몇가지 궁금증이 있어 글을 남깁니다.
OES로 실시간 플라즈마 공정 모니터링을 진행시 spectrum data가 검출되는데,
해당 spectrum data 파장영역에서 검출되는 원소를 찾아 정성분석이 가능하지만,
반면 정확한 정량분석은 어떻게 이루어 지는지 원리를 알고 싶습니다.
OES 정량분석을 공부하다가, 다른 논문들을 통해 actinometry으로 OES 정량분석을 진행하는걸 확인하였는데,
actinometry 방법 사용 이유, 원리 등을 자세하게 알고 싶습니다.
또한 플라즈마를 이용한 건식식각 공정 중 OES를 이용하여 etch chemistry를 알 수 있는 방법이 있다면, 어떠한게 있을까요?
질문방의 여러가지 다양한 질문과 답변을 통해 많은 도움을 받고 있습니다.
감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76690 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20152 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57159 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68680 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92218 |
| 767 | FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 | 165 |
| 766 | 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] | 166 |
| 765 | corona model에 대한 질문입니다. [1] | 169 |
| 764 | 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] | 170 |
| 763 |
화장품 원료의 플라즈마 처리 문의
[1]  | 184 |
| 762 | 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] | 186 |
| 761 | 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] | 190 |
| 760 | Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] | 192 |
| 759 | AP plasma 공정 관련 문의 [1] | 196 |
| 758 | Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] | 199 |
| 757 | 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] | 204 |
| 756 | GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] | 213 |
| 755 | Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] | 224 |
| 754 |
구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다.
[1] | 225 |
| 753 | Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] | 225 |
| 752 | gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] | 245 |
| 751 | 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] | 248 |
| 750 | RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] | 249 |
| 749 | 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] | 272 |
| 748 | RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] | 289 |
본 게시판에서 OES 또는 광진단을 찾아 보시면 도움이 될 것 같습니다. 아울러 Boffard 및 Zhu 의 논문과 원자 분광학을 공부하시면 도움이 됩니다. 광진단 센서의 데이터는 다양한 용도로 쓰이고, 목적에 따라 해석 및 분석 방법이 개발되는 현황이니 이점 참고하시면 좋을 것 같습니다. 즉, 광신호에는 많은 물리정보가 들어 있으므로, 목적에 맞추어 그 신호 분석을 통해 목적하는 정보를 찾겠다는 전략이 효과적임을 고려해 보세요.
아울러 OES 신호 .calibration 도 병행하면서 공부하시기를 추천합니다.