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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68038
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168 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1406
167 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1411
166 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1430
165 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1462
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163 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1497
162 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1509
161 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1556
160 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1632
159 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1633
158 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 1684
157 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1715
156 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1772
155 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1798
154 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1817
153 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1825
152 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 1902
151 플라즈마 관련 기초지식 [1] 1997
150 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 2010
149 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 2087

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