Plasma Source 플라즈마 챔버

2021.03.18 20:01

도나츠바 조회 수:709

안녕하십니까. 반도체 업체에 근무하고 있는 회사원입니다.

 

다름이 아니라 플라즈마에 챔버에 대해 질문이 있어 이렇게 글을 올립니다.

 

플라즈마 챔버 설계를 진행하려 합니다.

 

혹시....... Gas를 NF3를 사용하게 되면 스테인리스 챔버로 제작를 진행해도 괜찮을까요? 

 

아니면 알루미늄 챔버로 제작을 해야 하나요?

 

위 두가지 챔버 제작의 경우 사용 불가한 이유가 있으면 알고 싶습니다.

 

너무 궁긍하여 글을 올립니다.

 

답변 부탁드립니다.

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [126] 5571
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16853
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51343
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64184
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84145
570 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 638
569 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 645
568 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 645
567 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 652
566 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 665
565 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 665
564 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 670
563 플라즈마 충격파 질문 [1] 674
562 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 687
561 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 688
560 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 691
559 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 695
558 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 699
557 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 699
556 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 708
555 문의 드립니다. [1] 709
554 알고싶습니다 [1] 709
» 플라즈마 챔버 [2] 709
552 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 718
551 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 719

Boards


XE Login