번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [235] 75775
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19463
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56674
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68042
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90340
738 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 212
737 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 214
736 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 237
735 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 239
734 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 243
733 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 248
732 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 252
731 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 254
730 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 258
729 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 260
728 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [1] 261
727 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 264
726 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 265
725 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 269
724 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 273
723 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 277
722 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 279
721 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 282
720 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 286
719 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 292

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