CVD 설비에서 GENERATOR에서 온 AC POWER는 MATCHER를 거쳐 S/H로 공급되는데요
MATCHER ~ S/H간 연결 방식이 장비 MAKER마다 다른데 특별한 이유가 있나요?
어느 설비는 단단하게 고정된 CU, AG 재질을 쓰는 곳이 있고, 어느 설비는 얇은 끈, 전선같은 방식을 채택하기도 하던데
RF 전송 PATH의 굵기, 곡률(직각, 직선, 곡률이 있는경우), 재질과 같은 H/W적 요소가 IMPEDANCE MATHCING에 어떤 영향을 미치나요?
어떤 내용이나 자료를 공부하면 알 수 있나요?
댓글 2
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [182] | 75022 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 18864 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56341 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 66857 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 88326 |
| 110 |
ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다
[1]  | 53 |
| 109 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 296 |
| 108 | Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. | 394 |
| 107 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 407 |
| 106 | Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] | 484 |
| 105 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 500 |
| 104 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 543 |
| 103 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 560 |
| 102 | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 572 |
| 101 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 583 |
| 100 | Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] | 609 |
| 99 | Plasma Arching [1] | 667 |
| 98 | 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] | 685 |
| 97 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 719 |
| 96 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 792 |
| 95 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 862 |
| 94 | 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] | 879 |
| 93 | 고진공 만드는방법. [1] | 899 |
| 92 | 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] | 942 |
| 91 | 대학원 진학 질문 있습니다. [2] | 947 |