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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69055
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93219
190 가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. new 2
189 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 13
188 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [1] 17
187 Debey Length에 대해 문의 드립니다. [1] 53
186 플라즈마 식각 커스핑 식각량 74
185 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 99
184 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 100
183 Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다. [1] 111
182 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] 132
181 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 203
180 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 208
179 AP plasma 공정 관련 문의 [1] 224
178 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 226
177 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 256
176 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 261
175 Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] 269
174 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 275
173 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 306
172 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 312
171 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 326

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