Others 연면거리에 대해 궁금합니다.

2020.10.13 15:31

김민수 조회 수:565

안녕하세요. 교수님

저는 하단에 13.56Mhz RF Bias 와 상부의 MW를 통한 2중 Plasma 생성 구조를 가진 Etcher 장비 챔버를 연구하고있습니다.

현 질문의 배경에는 단순하게 척을 감싸는 세라믹의 두께를 증가시켰더니 아킹발생 정도가 줄어든 것인데요.

저는 이걸 연면거리와 관계있다고 생각하는데 몇일 째 확실한 답안을 도출 못해 도움을 요청드립니다.

구글링해본 결과로는 연면거리의 parameter는 가동 전압, 오염도, 격리 유형, 절연물질 저항 등등 다양한 요소가 있는 것 같습니다.

그런데 조절한 값은 세라믹 두께이니 절연물질의 저항? 이 올라간거라고 생각합니다.

근데 이거에 대한 관련 식을 찾아볼 수 도 없었고, 영향력을 수치로써 표현하기가 너무 어렵습니다. 그리고 실제 세라믹 두께 증가로 인한 연면거리 증가가 아킹발생 정도 저하에 실제로 영향을 끼쳤을 지도 확신이 서질 않습니다.

두께값등 구체적인 수치를 나열하기는 양도 많아지고 하여 적지는 않겠지만 교수님이 가지고 계신 개인적인 경험 이야기가 궁금합니다..

답변주시길 기다리고 있겠습니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [127] 5574
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16856
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51344
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64188
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84164
24 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 282
23 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 455
22 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 463
» 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 565
20 고진공 만드는방법. [1] 808
19 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 1650
18 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] 9318
17 반응기의 면적에 대한 질문 12702
16 Electrode 의 역할에 대해서 궁금합니다. 17052
15 Faraday shielding & Screening effect 18191
14 최적의 펌프는? 18412
13 CCP/ICP에서 자석의 역활에 대하여 19150
12 MFC 19188
11 석영이 사용되는 이유? [1] 19608
10 CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마... [1] file 20052
9 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [1] file 20907
8 Peak RF Voltage의 의미 22183
7 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24033
6 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24532
5 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25423

Boards


XE Login